“抠”出200纳米级精度 群科直驱加速推动高精度运动平台国产替代
1毫米等于1000微米，1微米等于1000纳米。 就在几个月前，由位于锡山区东北塘街道的无锡群科直驱半导体有限公司自主研发的纳米级设备平台，在实验室测试中达到了200纳米级精度。 “我们做到了。”总经理朱小瑞说这话时，语气平静，但实验室里反复验证了大半年的数据，足以说明其中的分量。近日，记者获悉，企业正着手准备市、省首台（套）重大装备申报。这次从微米级向纳米级的跨越，正加快从实验室走向产业化。 一场大会，让紧迫感更真实了 2026集成电路（无锡）创新发展大会期间，朱小瑞的亲身
1毫米等于1000微米，1微米等于1000纳米。
就在几个月前，由位于锡山区东北塘街道的无锡群科直驱半导体有限公司自主研发的纳米级设备平台，在实验室测试中达到了200纳米级精度。
“我们做到了。”总经理朱小瑞说这话时，语气平静，但实验室里反复验证了大半年的数据，足以说明其中的分量。近日，记者获悉，企业正着手准备市、省首台（套）重大装备申报。这次从微米级向纳米级的跨越，正加快从实验室走向产业化。
一场大会，让紧迫感更真实了
2026集成电路（无锡）创新发展大会期间，朱小瑞的亲身经历让他更加坚定了判断——向更高精度领域继续突破，这条路走对了。“外地企业明显多了，无锡集成电路产业的影响力越来越大。”走进展馆，他没有在整机模型前过多停留，目
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